ETR-F-81 turbo molecular pump

Parameter	Unit	ETR-F-81
Pumpgeschwindigkeit	L\ /S	55
Ultimate Druck	pa	<8X10-7
Kompressionsverhältnis	\ /	104
Einlassflansch	\ /	LF63:CF63 oder andere benutzerdefinierte Schnittstellen
Auslassflansch	\ /	KF16
Purge port	\ /	KF16
Gewicht	kg	3.1
Vibration	um	≤0.05
Noise	dB	≤60
bearing	\ /	fettgeschmiertes keramisches Kugellager
installationswinkel	\ /	beliebiger Winkel
kühlmethode	\ /	luftkühlung\ /wasserkühlung\ /natürliche Konvektion
vorpumpenempfehlung	L\ /S	0.5-2