
evakuieren
Vakuum ist der Prozess der Erzeugung von Unterdruck durch Absaugen von Umgebungsluft oder anderen Gasen in einem geschlossenen physikalischen Raum.
Das Arbeitsprinzip des Vakuumpumpens:
Das Absaugen physikalischer Räume (wie Behälter) ist eine der gängigen Anwendungen der Vakuumtechnik, bei der Umgebungsluft oder andere Gase bis zum Erreichen eines festgelegten Zieldrucks abgesaugt werden.
Die Anwendungsfelder des Vakuumpumpens sind sehr umfangreich. Bei diesem Extraktionsprozess werden ausgiebig Vakuumkammern genutzt, die Herstellungs-oder Testprozesse durchführen können, die durch das Vorhandensein von Umgebungsluft oder Sauerstoff behindert werden.
Ein typisches Beispiel für das Vakuumpumpen ist die Prozesskammer oder Raumsimulationskammer in der Halbleiterindustrie, einschließlich Vakuumöfen oder Beschichtungskammern.
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