ETR-F-63 turbo molecular pump

Parameter	Unit	ETR-F-63
Pumpgeschwindigkeit	L\ /S	85
Ultimate Druck	pa	<8X10-6
Kompressionsverhältnis	\ /	108
Einlassflansch	\ /	LF63:CF63 oder andere benutzerdefinierte Schnittstellen
Auslassflansch	\ /	KF16
Spülport	\ /	KF16
Gewicht	kg	2.3
Vibration	um	≤0.05
Noise	dB	≤60
bearing	\ /	fettgeschmiertes keramisches Kugellager
installationswinkel	\ /	beliebiger Winkel
kühlmethode	\ /	luftkühlung\ /wasserkühlung\ /natürliche Konvektion
vorpumpenempfehlung	L\ /S	0.5-2