ETR-F-401 turbo molecular pump

Parameter	Unit	ETR-F-401
Pumpgeschwindigkeit	L\ /S	380
Enddruck	pa	<5±10-7
Kompressionsverhältnis	\ /	> 5X103
Einlassflansch	\ /	DN160\ /ISO-K oder CF
Auslassflansch	\ /	DN25\ /ISO-KF,KF40
Spülport	\ /	DN16\ /ISO-KF
Gewicht	kg	10
Vibration	um	≤0,05
Geräusch	dB	≤55
Lager	\ /	Schmierkeramikkugellager mit Fett
Installationswinkel	\ /	Beliebiger Winkel
Magnetfeld der Arbeitsumgebung	mT	≤3
Vorpumpenempfehlung	L\ /S	3-8