ETR-F-301 turbo molecular pump

Parameter	Unit	ETR-F-301
Pumpgeschwindigkeit	L\ /S	230
Enddruck	pa	<5±10-6
Kompressionsverhältnis	\ /	> 5X103
Einlassflansch	\ /	DN100\ /ISO oder CF
Auslassflansch	\ /	DN25\ /ISO-KF,KF40
Spülport	\ /	DN16\ /ISO-KF
Gewicht	kg	9,6
Vibration	um	≤0,05
Geräusch	dB	≤55
Lager	\ /	Fettgeschmiertes Keramikkugellager
Installationswinkel	\ /	Beliebiger Winkel
Magnetfeld in Arbeitsumgebung	mT	≤3
Vorpumpenempfehlung	L\ /S	2-6