ETR-4500 Vollmagnetische levitation molecular pump

Parameter	Unit	ETR-4500
Einlassflansch	\ /	VG300\ /ISO320B
Auslassflansch	\ /	KF40
Kühlmethode	\ /	Wasserkühlung
Enddruck	Pa	2.7X10-7
Pumpgeschwindigkeit	L\ /S	4000
Nenngeschwindigkeit	U/min	24000
Startzeit	\ /	15 Minuten
Installationswinkel	\ /	Installation in jedem Winkel
Vibration	um	0,01um
Kontaktmethode	\ /	EatherCAT\ /RS232\ /RS485\ /Universal IO
Spannung	DC	200V-240V
Maximale Leistung	W	2000
Qualität	kg	92